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Entwicklung und Optimierung von In2O3-basierten Dünnschichten für die Detektion von NO3 und O3 - Harald Steffes


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ISBN:9783934529854
Personen:
Zeitliche Einordnung:2002
Umfang:163 S
Format:; 24 cm
Sachgruppe(n):29 Physik, Astronomie ; 37 Elektrotechnik
Verlag:
Berlin : Pro Business
Schlagwörter:Indiumoxide ; Dünne Schicht ; Magnetronsputtern ; Gassensor ; Ozon ; Stickstoffdioxid

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