Entwicklung und Optimierung von In2O3-basierten Dünnschichten für die Detektion von NO3 und O3 - Harald Steffes
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FAQ zum Buch
Die Sauerstoff-Spezies O⁻ wird nach der Wechselwirkung mit NO₂ auf der In₂O₃-Oberfläche vorherrschend, da die dissoziative NO₂-Chemisorption im Wesentlichen nur ionosorbierter Sauerstoff der Form O⁻ hinterlässt. Dies führt zu einer Ladungsträgerverarmung und damit zu einer Abnahme der Leitfähigkeit. Dieses FAQ wurde mit KI erstellt, basierend auf der Quelle: S. 35, ISBN 9783934529854
Die In2O3-Dünnschichten besitzen eine kubische Bixbyite-Struktur und zeigen eine eindeutige [111]-Textur, die anhand des dominierenden (222)-Peaks festgestellt wird. Die Kristallinität wurde durch die Temperung bei 600°C verbessert, was zu höheren Reflexintensitäten im Vergleich zu ungetemperten Schichten führt. Dieses FAQ wurde mit KI erstellt, basierend auf der Quelle: S. 68, ISBN 9783934529854
Die optimale Kombination besteht aus 100 W HF-Leistung und 65 % N2 im Prozessgas. Die Verbesserung der Eigenschaften ist ab 20 % N2 nur noch marginal. Dieses FAQ wurde mit KI erstellt, basierend auf der Quelle: S. 92, ISBN 9783934529854
Die stark gesteigerte NO₂-Sensitivität wird auf die Verringerung der Korngröße durch die Vergrößerung der aktiven Oberfläche sowie die Inkorporation von Stickstoff zurückgeführt. Dieser bildet neue Adsorptionszentren und ermöglicht zusätzliche Oberflächenzustände für die Adsorption oxidierender Gase. Dieses FAQ wurde mit KI erstellt, basierend auf der Quelle: S. 115, ISBN 9783934529854
Die Literaturquellen im Anhang sind nach Publikationsjahr geordnet, wobei der Zeitraum von 1987 bis 2001 abgedeckt wird. Dies ermöglicht eine einfache Suche nach den aktuellsten Quellen. Dieses FAQ wurde mit KI erstellt, basierend auf der Quelle: S. 147, ISBN 9783934529854
