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Auswirkungen Einer Plasmabehandlung Auf Die Eigenschaften Des Niedertemperatur-W - Wiegand, Marco


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ISBN:9783935316965
Personen:
Zeitliche Einordnung:0
Umfang: 133 S
Format:; 21 cm
Sachgruppe(n):Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie ; 37 Elektrotechnik
Verlag:
Osnabrück : Der Andere Verl.
Schlagwörter:Schlagwörter Silicium ; Kristallfläche ; Oberflächenbehandlung ; Plasmatechnik Silicium ; Wafer ; Bonden ; Oberflächeneigenschaft

1644

Buchzusammenfassung:



Zsfassung in engl. Sprache.

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