Auswirkungen Einer Plasmabehandlung Auf Die Eigenschaften Des Niedertemperatur-W - Wiegand, Marco

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ISBN:	9783935316965
Personen:	Wiegand, Marco (Verfasser)
Zeitliche Einordnung:	0
Umfang:	133 S
Format:	; 21 cm
Sachgruppe(n):	Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie ; 37 Elektrotechnik
Verlag:	Osnabrück : Der Andere Verl.
Schlagwörter:	Schlagwörter Silicium ; Kristallfläche ; Oberflächenbehandlung ; Plasmatechnik Silicium ; Wafer ; Bonden ; Oberflächeneigenschaft

Buchzusammenfassung:

Zsfassung in engl. Sprache.